在半导体制造、医疗灭菌、食品包装等对环境洁净度要求严苛的领域，
无油真空泵凭借“零油污染”的核心优势，成为真空技术领域的环保标准。其工作原理通过机械创新实现气体抽除，避免了传统油封式真空泵因油蒸汽污染导致的工艺缺陷，为高精度生产提供了可靠保障。
一、容积变化型：精密机械的压缩艺术
以爪式真空泵和螺杆真空泵为代表，此类泵通过转子或螺杆的精密机械运动实现容积周期性变化。爪式泵采用两个反向旋转的爪型转子，转子间及与泵腔内壁的间隙仅0.01-0.1毫米，气体在转子旋转过程中被分割、压缩并排出。例如，某型号爪式泵在半导体蚀刻工艺中，通过双级压缩将真空度提升至10^-3 Pa，同时避免油分子污染晶圆表面。螺杆泵则利用一对螺旋啮合转子，气体在螺杆旋转形成的“螺旋通道”中被逐级压缩，其单级压缩比可达5:1，适用于化工领域腐蚀性气体的抽除。
二、高速撞击型：分子级动能的精准操控
分子泵通过转子叶片以每分钟2万至9万转的高速旋转，将气体分子定向撞击并携带至排气口。其工作原理类似“分子筛”，转子表面的钛合金叶片以动能差形成压力梯度，使气体分子沿特定方向运动。在真空镀膜工艺中，分子泵可在10秒内将腔体压力从大气压降至10^-4Pa，且无油污染风险，确保金属薄膜的纯度达到99.999%。
三、低温吸附型：绝对零度附近的分子陷阱
低温泵利用液氦或闭循环制冷机将冷面温度降至-269℃（接近绝对零度），气体分子在冷面上凝结成固态被捕集。此类泵在核聚变装置中表现杰出，可维持10^-8Pa的超高真空环境，且无机械运动部件，寿命长达10年以上。其吸附效率与气体种类相关，对氢气的捕集能力可达常温下的10倍。
从爪式泵的微米级间隙控制到分子泵的超高速旋转，再到低温泵的绝对零度陷阱，无油真空泵通过机械创新实现了真空技术的环保升级。随着第三代半导体、量子计算等新兴领域的发展，无油真空泵正朝着更高真空度（10^-12 Pa）、更宽压强范围（大气压至超高真空）的方向演进，持续推动工业制造向洁净化、精密化转型。
